国产刻蚀机入选全球首条5纳米芯片产线 但光刻机依然任重道

12月17日,中微半导体设备(上海)有限公司自主研制的5纳米等离子体刻蚀机经台积电验证,性能优良,将用于全球首条5纳米制程生产线。刻蚀机是芯片制造的关键装备之一,中微突破了“卡脖子”技术,让“上海制造”跻身刻蚀机国际第一梯队。(上海市科学技术委员会)